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硅片厚度測量
要求測量硅片的厚度 由于硅片是不透明,且反光的物品,本次測試采用D40A36搭配雙通道H4UC控制器,D40A36具有小光斑,分辨率和測量精度都更高,非常適合測量高精度,高分辨率且反光的物品。(對射側厚) 藍色曲線為上鏡頭高度數據曲線,紅色曲線為下鏡頭高度數據曲線,通過上下鏡頭的高度數值,可以計算出厚度曲線。(硅片的厚度數值)本次測量通過采集樣品的上下鏡頭高度數值測量值,并計算厚度數值。可以通過三組數值...
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晶圓形貌測量,晶圓測高,晶圓側厚,晶圓輪廓掃描-立儀科技
硅片表面形貌測量,晶圓表面形貌測量,通過三維形貌測量儀進行表面形貌掃描,來分析晶圓的高度及微觀形貌.推薦產品 D27 系列,角度±30 度,量程 1mm